Том 17, номер 02-03, статья № 3

Аннотация:

Для контроля герметичности вакуумных объемов предложено использовать оптико-акустический (ОА) течеискатель на базе простого СО₂-лазера. Представлены результаты экспериментальных исследований детектирования привнесенных примесей SF₆ в слабых газовых потоках ОА-детектором с дифференциальным резонатором Гельмгольца. Исследовано влияние скорости прокачки газовой пробы через детектор. Оценка минимального значения надежно регистрируемого потока лазерным ОА-газоанализатором составила ~1 10^-9 Па м³/с, что сравнимо с чувствительностью серийного гелиевого течеискателя.

Список литературы:

1. Leak detecting method for vessels: US Patent 5,163, 315. Asai, Kazuhiro, Morimoto et al. November 17, 1992.
2. Photo-acoustic leak detection system and method: US Patent 5, 161, 408. McRae, Dewey. November 10, 1992.
3. Photo-acoustic leak detector with baseline measuring: US Patent 5, 824, 884. Olender, Woody, Newman. October 20, 1998.
4. Air Monitoring by Spectroscopic Techniques / Ed. M.W. Sigrist. New York: John Willey and Sons, Inc. 1994. 532 p.
5. Жаров В.П., Летохов В.С. Лазерная оптико-акустическая спектроскопия. М.: Наука, 1984. 320 с.
6. Лазерная оптико-акустическая спектроскопия межмолекулярных взаимодействий в газах / Ю.Н. Пономарев, Б.Г. Агеев, М.В. Зигрист, В.А. Капитанов, Д. Куртуа, О.Ю. Никифорова. Томск: МГП "РАСКО", 2000. 200 с.
7. Kapitanov V.A., Ponomarev Yu.N., Song K., Cha H.-K., Lee J. Resonance photoacoustic spectroscopy and gas analysis of gaseous flow at reduced pressure // Appl.Phys. B. 2001. V. 73. P. 745-750.
8. Hugh R. Carlon. Infrared absorption coefficients (3-15 m) for sulfur hexafluoride (SF6) and freon (CCl2F2) // Appl. Opt. 1979. V. 18. N 10. P. 1474-1475.
9. Cox D.M., Gnauck A. Continious wave CO2 laser spectroscopy of SF6, WF6 and UF6 // J. Mol. Spectrosc. 1980. V. 81. N 1. P. 205-215.