Том 24, номер 08, статья № 8

Аннотация:

Предложен новый подход к восстановлению фазы из интерферограммы, заключающийся в применении классического метода прослеживания интерференционных полос, но на выборке, в которой интерференционные полосы меняют число и ориентацию. Восстановленные из отдельных интерферограмм волновые фронты усредняются, и по полученной оценке судят о качестве контролируемой поверхности. Усреднение фазы из нескольких интерферограмм позволяет понизить дисперсию ошибки восстановления фазы, вызванную не только случайным шумом, но и неравномерностью покрытия апертуры интерференционными полосами, и неоднородностью источника света. Результаты проведенных модельных экспериментов показывают перспективы применения интерферометрии в нанометрологии высококачественных оптических элементов.

Ключевые слова:

анализ интерферограммы, прослеживание полос, восстановление фазы

Список литературы:

1. Витриченко Э.А., Лукин В.П., Пушной Л.А., Тартаковский В.А. Проблемы оптического контроля. Новосибирск: Наука, 1990. 351 c.
2. Крайнюков Н.И., Храмов А.Г. Выделение центров полос на интерферограмме // Компьютерная оптика. 1992. № 10-11. С. 150-159.
3. Беляков А.В. Анализ картин интерференционных полос с использованием метода выделения особенностей вейвлет-карт симметричных вейвлетов // Оптич. ж. 2006. Т. 73, № 3. С. 40-44.
4. Anand A. Tracing of interference fringes using average gray value and simultaneous row and column scan // Opt. & Laser Technol. 2003. V. 35, N 2. P. 73-79.
5. Горшков В.А., Папаев А.Ю., Подобрянский А.В. Программное обеспечение обработки интерферограмм для технологических целей // Оптич. ж. 2002. T. 69, № 2. С. 54-59.
6. Khadakkar A.G., Jyothi V., Narayanan R. Fringe tracing by image processing // Opt. Eng. 1994. V. 33, N 6. P. 1872-1875.
7. Maximov V.G., Tartakovsky V.A., Chudinov S.A. Adaptive algorithm for interference fringe tracing // Proc. SPIE. 2004. V. 5743. P. 271-281.
8. Коронкевич В.П., Ленкова Г.А., Маточкин А.Е., Мак-симов В.Г., Тартаковский В.А., Чудинов С.А. Интерферометрия оптических поверхностей по ньютоновским полосам // Автометрия. 2004. T. 40, № 6. С. 33-45.
9. Budzinski J. SNOP: a method for skeletonization of a fringe pattern along the fringe direction // Appl. Opt. 1992. V. 31, N 16. P. 3109-3113.
10. Wyant J.C., Creath K. Basic wavefront aberration theory for optical metrology // Appl. Opt. and Opt. Eng. / R. Shannon, J. Wyant, eds. New York: Academic Press, 1992. V. 11. P. 28-39.
11. Гужов В.И., Ильиных С.П. Компьютерная интерферометрия. Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2004. 252 с.
12. Maximov V.G., Tartakovsky V.A., Chudiniv S.A. Edge effect reduction for interference fringe tracer // Proc. SPIE. 2005. V. 6160. P. 616012-1-4.
13. Полещук А.Г., Насыров Р.К., Маточкин A.Е., Черкашин В.В., Максимов В.Г., Тартаковский В.А. Измерительный комплекс для высокоточного оптического контроля // Сб. трудов 9-й Междунар. конф. "Прикладная оптика-2010". СПб., 2010. Ч. 2. С. 129-136.