Том 7, номер 01, статья № 14

Аннотация:

Представлены результаты исследований тонких пленок из SnO₂, направленных на разработку чувствительных элементов для анализа окиси углерода и углеводородов. Исследовались технология изготовления и температурная зависимость проводимости. Показано, что сочетание объемного легирования серебром и поверхностного легирования платиной пленок, полученных катодным напылением, позволяет снизить рабочую температуру сенсоров и расширить область концентраций исследуемых газов. Описана конструкция малогабаритного анализатора СО.

Список литературы:

1. Gopel W. // Sensors and Actuators. 1989. V 16. P. 167-183.
2. Mc Alur J.F., Mosely P.T., Norris J.O.N., Williams D.E.// J.Ches. Soc. Faradey Trans. 1987.V.83. P.1326-1346.
3. HeilandG., Kohl D. // Chem. Sensor Techn. 1988. V. 1. P 15-38.
4. Huck R., Bottger U., Kohl D., Heiland G., // Sensors and Actuators. 1989. V. 17. P. 355-359.
5. Сухарев В.Я., Мясников И.А. Теоретические основы метода полупроводниковых сенсоров в анализе активных газов // Журн. физ. химии. 1986. Т. 60. №10. С. 2385-2401.
6. Мясоедов Б.Ф., Давыдов А.В. // Журн. аналит. химии. 1990. Т. 45 №7. С.1259-1278.
7. Арутюнян В.М. // Микроэлектроника. 1991. Т.20. №4. С. 337-355.
8. Мальченко С.Н., Баран С.В., Лычковский Ю.Н. и др. // Приборы и системы управления. 1992. №5. С. 28.
9. Бутурлин А.И., Габузян Т.А., Голованов Н.А. и др. // Зарубежная электронная техника. 1983. № 10. C. 3-39.
10. Максимович Н.П., Дышель Д.Е., Еремина Л.Э. и др. // Журн. аналит. химии. 1990. Т. 45. №7. C. 1312-1316.
11. Bhulz I.W. // Wiss. Tag. Techn. Univ Karl-Marx-Stadt. 1989. №6. P.272-278