Том 15, номер 12, статья № 7
Скопировать ссылку в буфер обмена
Аннотация:
Для повышения точности интерференционного контроля путем компенсации остаточных аберраций освещающей ветви интерферометра предлагается использовать гибкое адаптивное зеркало на основе биморфного пьезоэлемента. В численном и натурном экспериментах исследуются возможности моделирования геометрических и волновых аберраций на адаптивном зеркале. Обсуждаются полученные результаты и методика настройки интерферометра с использованием адаптивного зеркала.
Список литературы:
1.Родионов С.А., Агурок И.П. Влияние погрешностей оптической системы интерферометра на точность измерения формы поверхности // ОМП. 1988. № 8. С. 3.
2.Максимов В.Г., Половцев И.Г. Влияние остаточной аберрации на погрешность интерферометра с совмещенными ветвями // Оптика атмосф. и океана. 1996. Т. 9. № 8. С. 1131.
3.Оптический производственный контроль / Под ред. Д. Малакары: Пер. с англ. Е.В. Мазуровой и др. / Под ред. А.Н. Соснова. М.: Машиностроение, 1985. 400 с.
4.Воронцов М.А., Кудряшов А.В и др. Управляемые зеркала на основе полупассивных биморфных пьезоэлементов. Препр. / АН СССР, НИЦТЛ. Шатура, 1987. 27 с.
